XuP-Semi

Transport von FOUPS im Reinraum

Für eine millimetergenaue Aufnahme und Ablage auf Ihren Feststationen

Nutzlast

15 kg

Autonomie

10 h

Leergewicht

135 kg

Höhe

1,85 m

Anwendungsmodul

4-achsiges FOUP-Positionierungssystem

Schnittstelle

Touchscreen

Kommunikation

Wi-Fi

Max. Geschwindigkeit

1,35 m/s

Höhe der Aufnahme und des Absetzens

0,92 m

Sicherheit

Laserscanner, Sonar und Notstopps

Zertifizierung

CE | ISO 3691-4

Unsere Optionen

Induktives Laden

Visuelle Präsenzmelder (Spot)

Optischer Sender

Anwendung STMicroelectronics -Crolles

Eine Flotte von 15 XuP-Semi sammelt präzise FOUPS an den Schnittstellen zum bestehenden Deckentransportsystem ein.

Unsere Experten stehen Ihnen zur Verfügung und hören auf Ihre Bedürfnisse, um Sie zu beraten und Ihre Fragen zu beantworten.